臭氧消毒系统由五个部分组成

　　1.臭氧气源
　　
　　臭氧气源主要有三种：使用成品纯液态氧、现场用空气制备纯气态氧、直接利用空气。为了提高臭氧的浓度，同时节省能耗，降低设备及管道尺寸，目前较先进臭氧机多采用前两种方式制备臭氧，第三种方式适用于臭氧产量较小的场合。
　　
　　2．臭氧发生器系统
　　
　　臭氧的发生是由臭氧发生器来完成的，目前使用最广的臭氧发生器是管式发生器。影响臭氧发生器臭氧产量和浓度的主要因素有放电电压、放电频率、气体压力和冷却水温度。臭氧发生器的备用率一般应大于30％，备用的方式有设备台数备用(硬备用)与设备发生能力备用(软备用)两种。
　　
　　3．臭氧接触池
　　
　　通 过一定方式使臭氧气体扩散到液体中并使之与液体全面接触和完成预期反应的过程是在臭氧接触池内完成．预臭氧接触池一般在每条线前端设1个臭氧投加点，较多 采用水射器扩散接触方式，臭氧投加量通常为0.5mgO3／mg DOC，反应时间2~4min，水中余臭氧一般为零或很少．而主臭氧接触池一般在每条线设有多个臭氧投加点(通常为2～3个点)，采用微气泡扩散接触方 式，臭氧投加量通常为1.5～3.0mg ／L(控制水中余臭氧为0.1~0.2mg／L)，反应时间一般不小于10min。如采用基于臭氧的高级氧化技术，则在臭氧接触池中加入催化剂，一般氧化 时间可根据水质情况适当缩短，或在相同接触时间条件下提高对有机物的氧化分解效率。
　　
　　4．臭氧接触池尾气破坏系统
　　
　　臭氧接触池尾气破坏系统是收集臭氧接触池内排出的剩余臭氧气体并人为地分解成对环境无害的氧(保证排出的气体臭氧浓度小于0.05~0.1ppm）。臭氧尾气破坏的主要方法有化学触媒法和加热分解法。
　　
　　5．臭氧控制系统
　　
　　预臭氧化的投加控制一般采用设定臭氧投加率，根据水量变化来比例投加。主臭氧的投加控制一般采用设定臭氧投加率，根据水量变化与水中余臭氧的变化进行双因子复合环投加控制(处理水量是前馈条件，余臭氧是后馈条件)。